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        AW? Series AW? Series

        产品价格: < 面议
        产品型号:AW? Series
         牌:sonoscan
        公司名称:苏州科冠电子科技有限公司
          地?#33322;?#33487;苏州
        发布时间:2019-04-07
        浏?#26469;?#25968;:
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        产品简介

        AW? 系列产品是专门为粘合晶?#24067;?#30789;片设计的全自动 C-SAM?系统,容?#30475;?产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。由于这些材料对超声波几乎是透明 的,Sonoscan利用自己专门研制的高频探头进行分析, 以获取*精细的图像。AW系?#24515;?#22815;探测直径小于5微米 的空洞和薄如200埃的分层。

        产品详细信息

        AW?系列是先进的大容量、高吞吐量的自动化晶圆C-Sam®仪器,专门为晶圆和设备级应用的评估提供*大的灵敏?#21462;?/strong>

        AW系列可以提供比竞争系统快?#22870;?#30340;5微米以上的灵敏度,以及非浸入式扫描仪,以消除因去离子水侵入而产生的误报。
        AW系列根据用户定义的接受/拒绝标准自动处理、检查和排序晶圆。该系?#25104;?#35745;用于处理几乎任何方法制造的晶?#24067;?#20135;品(BSI传感器、SOI、MEMS、LED、片上芯片和未抛光晶圆),包括使用直接熔合、阳极、玻璃熔块和?#36153;?#26641;脂键合的键合工艺。
        1.直接键合技术-系统用户发现,在范德华力初始键合后、退火后和稀释后的三个生产阶段进行检查,可以显著提高产量。
        2.MEMS设备-在分离之前,可以检查腔密封的质量。
        3.未抛光的生晶片-检测在进一步加工过程中导致“针孔”的自然空隙。
        4.发光二极管-检查层的结合自动一个模具的基础上,并分类坏和可疑的模具。
        AW系列利用了Sonoscan专有的高频声透镜,这种透镜是内?#21487;?#35745;的,可以获得*详细的图像。由于在这些应用中使用的材料,如硅、蓝宝石、玻璃、砷化镓等,对超声波来说是非常透明的,因此需要特殊的透镜。可以检测到薄到200埃的晶圆之间的分层。
        AW300系列提供全自动检查,符合SECS/GEM标准,可根据您的要求定制。

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